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Mit EUV-Lithographie zum ultimativen Chip

Lithographie am Limit
c't 13/2003, S. 198

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Enorme technische Herausforderungen, jede Menge ungelöster Probleme und ein hohes Investitionsrisiko warten auf die Chiphersteller, bevor Ende des Jahrzehnts 10-GHz-Prozessoren in den Rechnern stecken werden. Die EUV-Lithographie ? die Halbleiterherstellung mit extrem ultravioletter Strahlung ? soll der Königsweg dafür sein und wird die Produktion der Chipfabriken im nächsten Jahrzehnt bestimmen. Mit EUV stößt die Halbleitertechnik in atomare Dimensionen vor und erreicht damit eine naturgegebene Grenze ? der Weg dahin ist weit und steinig.

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Redakteur: Jürgen Rink
Länge des Artikels: ca. 9 redaktionelle Seiten
Dateigröße: 2.12 MB
Format: PDF
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